HONDA本多石英振動(dòng)式超聲波清洗機(jī)W-357-1MQB-SKC的使用和介紹

石英振動(dòng)超聲波清洗機(jī)首次使用將超聲波疊加到石英振動(dòng)體進(jìn)行半導(dǎo)體精密儀器清潔，可以減少化學(xué)藥品的使用，滿足低損傷清洗，大面積清洗、斜面端的清洗等。

清洗損壞程度低的細(xì)分圖案晶片

■通過(guò)在石英振動(dòng)體上疊加超聲波來(lái)清洗半導(dǎo)體晶片

通過(guò)將化學(xué)溶液浸入半導(dǎo)體晶片中并通過(guò)石英玻璃傳播超聲波振動(dòng)，接觸部分處的化學(xué)溶液振動(dòng)，并且加速作用去除了表面上的污垢。

■實(shí)現(xiàn)清潔清洗，對(duì)半導(dǎo)體晶片的損壞很小

與使用諸如包裝之類的橡膠材料的設(shè)備相比，通過(guò)使用化學(xué)溶液將石英用于潤(rùn)濕部件，可以實(shí)現(xiàn)清潔清潔，而不會(huì)洗脫或磨損橡膠。

■由于具有振動(dòng)器冷卻功能，因此與標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品相比，最大輸出增加了2.4倍。

通過(guò)用氣體（氮?dú)獾龋├鋮s振動(dòng)器，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行而不會(huì)出現(xiàn)頻率波動(dòng)。
此外，通過(guò)冷卻，溫度不會(huì)突然變化，并且可以延長(zhǎng)使用壽命。

采用

去除殘留物
磨邊后，灰化后去除聚合物
柵電極清潔
CMP后的清潔

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